Đăng nhập để tải tài liệu không giới hạn
Tham gia 8.000+ người dùng Thư Viện Luận Án
Đang tải tài liệu...
NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ VÀ MÔ PHỎNG HOẠT ĐỘNG CỦA BỘ VI CHẤP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG KHẮC CÁC CẤU TRÚC NANO
Khoa học vật liệu
Luận án "NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ VÀ MÔ PHỎNG HOẠT ĐỘNG CỦA BỘ VI CHẤP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG KHẮC CÁC CẤU TRÚC NANO" tập trung giải quyết các thách thức trong chế tạo cấu trúc nano, đặc biệt thông qua kỹ thuật khắc đầu dò quét (SPL). Với những hạn chế của quang khắc truyền thống (độ phân giải bị giới hạn, chi phí cao) và khắc chùm điện tử (chi phí lớn, quy mô sản xuất giới hạn), nghiên cứu này khám phá các kỹ thuật điều khiển lực để chế tạo cấu trúc nano, sử dụng mũi dò quét.
Mục tiêu của nghiên cứu là phát triển các bộ vi chấp hành một chiều (trục z) và ba chiều (XYZ) có dịch chuyển lớn, nhiễu chéo thấp và hoạt động ổn định cho khắc đầu dò quét. Luận án hướng tới việc điều khiển độc lập bộ vi dịch chuyển XYZ và tích hợp mũi dò trên cùng một chip, sử dụng công nghệ vi cơ điện tử đơn giản, có thể thực hiện được trong nước. Phương pháp nghiên cứu kết hợp lý thuyết và thực nghiệm, bao gồm các phương trình giải tích từ cơ học vật rắn và trường tĩnh điện, mô phỏng số bằng phương pháp phần tử hữu hạn, và chế tạo thực nghiệm.
Các đóng góp khoa học chính bao gồm việc phát triển bộ chấp hành trục z với nhiễu chéo thấp và phạm vi tần số hoạt động rộng (sai khác tần số 65%-180% trong dải 120 kHz – 800 kHz), cùng với bộ vi dịch chuyển 3 chiều có khả năng điều khiển độc lập các trục x, y, z (độ dịch chuyển 57 µm ở trục x,y và 1 µm ở trục z với điện áp 60V và 48.7V tương ứng). Các mô hình lý thuyết đã thiết lập có độ chính xác cao so với kết quả mô phỏng (sai số nhỏ hơn 15%). Về mặt thực tiễn, luận án đã chế tạo thành công mũi dò quét kích thước nano (khoảng 100 nm) bằng công nghệ quang khắc truyền thống và vi cơ khối ướt tại ITIMS, Đại học Bách khoa Hà Nội, tạo nền tảng cho việc phát triển các công cụ chế tạo nano hiệu quả và chi phí thấp tại Việt Nam. Nghiên cứu cũng khảo sát các thiết kế lò xo khác nhau (dạng zig-zag, càng cua) để tối ưu hóa hiệu suất và khắc phục vấn đề vênh do ứng suất dư.
Tải không giới hạn tất cả tài liệu, không cần chờ. Chỉ từ 199.000đ/tháng.
Xem gói hội viên